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擴散/氧化/退火上下料機

產(chǎn)品特點(diǎn)

最高產(chǎn)能可達到16000pcs/h

可根據客戶(hù)需求進(jìn)行配置

特制精密陶瓷吸盤(pán),陶瓷頂齒,陶瓷側齒,減少硅片劃傷,保證設備的穩定性

技術(shù)參數

技術(shù)參數相關(guān)參數
產(chǎn)能8000/11000/16000 pcs/h
石英舟規格 1000/1200/1600槽 ,節距2.38mm
硅片尺寸 166mm-210mm
適用花籃100 cassette
碎片率≤0.03%
開(kāi)機率≥98%
耗氣量1000L/min
具體參數如有變動(dòng),本公司不另行通知!
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